深冷空分

a、氧

序号

测点

测量级别

原理

1

二氧化碳

PPM

非分光红外

2

露点

PPM

三氧化二铝

3

氧纯度

常量

磁氧

4

氧浓度

常量

磁氧/电化学

5

氧浓度

PPM

电化学

6

总烃浓度

PPM

氢火焰离子化

7

乙炔浓度

PPM

氢火焰离子化

8

氧化亚氮浓度

PPM

红外


b、氩

序号

测点

测量级别

原理

1

氧浓度

PPM

电化学

2

氧浓度

常量

磁氧/电化学

3

微量氮浓度

PPB

等离子发射

4

氩浓度

常量

热导

5

氩杂质测量

PPM

色谱


c、氦

序号

测点

测量级别

原理

1

氖氦氢浓度

常量

色谱

2

氧浓度

常量

电化学/磁氧

3

露点

PPM

三氧化二铝

4

氮浓度

PPM

等离子发光

5

氦杂质浓度

PPM

色谱


d、实验室

序号

测点

测量级别

原理

1

便携氧

PPM

电化学

2

便携露点

PPM

三氧化二铝

3

总烃

PPM

氢火焰离子化

4

CnHm浓度

PPM

色谱