太阳能

a、多晶硅

序号

测点

测量级别

原理

1

氢纯度

常量

热导

2

氧浓度

PPM

电化学

3

露点浓度

PPM

三氧化二铝

4

二氧化碳浓度

PPM

红外

5

氯气浓度

PPM

紫外

6

露点浓度

PPM

近红外


b、单晶硅

序号

测点

测量级别

原理

1

氢纯度

常量

热导

2

氧浓度

PPM

电化学

3

露点浓度

PPM

三氧化二铝

4

二氧化碳浓度

PPM

红外

5

氯气浓度

PPM

紫外

6

露点浓度

PPM

近红外


氢能源

a、绿氢制备-水、氧、氢

序号

测点

测量级别

原理

1

露点浓度

PPM

三氧化二铝

2

氧浓度

PPM

电化学

3

氢纯度

常量

热导


b.灰氢制备：

①水、氧、CO2、CO

序号

测点

测量级别

原理

1

露点浓度

PPM

三氧化二铝

2

氧浓度

PPM

电化学

3

二氧化碳浓度

PPM

红外

4

一氧化碳浓度

PPM

红外

②水、氧+甲烷等（色谱）

序号

测点

测量级别

原理

1

露点、氧、甲烷

PPM

色谱